中微公司(688012)：刻蚀设备中国龙头 国产替代稳步推进

事项：

   企业发布2023 年中报，中微中国 2023 前半年企业实现营业收入25.27 亿人民币（28.13%YoY），公司国产所属公司的刻蚀股东纯利润10.03亿人民币（114.40%YoY），企业拟将公司股东每10股派发现金红利rmb2.00元（价税合计）。设备

   安全见解：

   不断高科研投入，替代推进得益于半导体材料设备国产化：2023年上半年度企业实现营业收入25.27亿人民币（28.13%YoY），稳步所属公司的中微中国股东纯利润10.03亿人民币（114.40%YoY），扣非后归母净利5.19亿人民币（17.75%YoY，公司国产公司在2023年上半年度卖掉了一部分所持有的刻蚀拓荆科技个股，造成税后工资纯收益约4.06亿人民币） 。设备2023 前半年企业整体利润率和净利润率分别为45.89% （ 0.53pctYoY ） 和39.67% （ 16.01pctYoY ，替代推进 扣非后净利润率为20.54%），稳步业绩超出预期。中微中国在全球最先进5纳米芯片生产流水线及下一代更完善的公司国产生产流水线，企业的刻蚀CCP刻蚀设备完成了数次批量销售，已有超过200台反映台在生产流水线达标运行。2023年上半年度企业刻蚀设备收益为17.22亿人民币，较上年同期提高约32.53%，利润率做到46.16%；MOCVD机器设备收益2.99亿人民币，较上年同期提高约24.11%，利润率做到37.90%。花费端：2023年上半年度企业销售费用率、管理费用率和财务费用率分别是7.69% （ -1.03pctYoY ） 、4.78% （ -0.41pctYoY ）和-2.20%（2.98pctYoY），企业成本率平稳。1）科研投入层面：企业持续保持相对较高的科研投入，与国际一流客户沟通密切合作，各种设备新产品开发顺利开展、手机客户端认证状况良好。2023年上半年度企业科研投入为4.60亿人民币，相与去年同期相比提高32.96%，占收益比例是18.22%。为了更好地健全企业的产业链布局，进一步提升企业的产能规模和整体竞争能力，公司正在上海临港新片区建设过程中微临港新城产业发展产业基地及中小型临港新城总公司和研发基地，在南昌高新区建设过程中微南昌市产业发展产业基地。

   刻蚀设备中国领头，国产化替代有序推进：1）CCP刻蚀设备：企业CCP刻蚀设备商品逐步完善、丰富多彩产品的性能，持续保持核心竞争力，PrimoAD-RIE、PrimoSSCAD-RIE、PrimoHD-RIE等商品被广泛应用于世界各国一线顾客的集成电路芯片生产制造生产流水线。截止到企业2023年第二季度企业合计生产制造付运超出2500个CCP离子注入反映台。企业现有的产品已经对28纳米技术以上绝大多数CCP离子注入运用和28纳米技术及以下绝大多数CCP离子注入运用产生比较全方位的遮盖。在存储器件层面，企业自主研发的超级深奥比刻蚀机选用功率大的400KHz替代2MHz做为阈值电压微波射频源，根据低频率微波射频全面提升正离子出射能量自准直性，极大提高深宽比离子注入能力。2）ICP刻蚀设备：企业的ICP刻蚀设备在包含逻辑性、DRAM、3DNAND、功率和电池管理、及其微型马达装置等芯片和器件的50好几个顾客的生产流水线批量生产，并不断进行大量离子注入运用的认证。企业ICP刻蚀设备产品部门进行技术革新，很好地上线了适用更高一些深宽比构造离子注入的NanovaVEHP和兼具深宽比和均匀度的NanovaLUX二种ICP机器设备。

   MOCVD机器设备市场领先，合理布局第三代半导体机器设备：企业用以高清蓝光照明PrismoA7、用以深紫外LED的PrismoHiT3、用以MiniLED标注的PrismoUniMax等商品不断为客户服务，企业总计MOCVD商品销售量超出500腔。在其中PrismoUniMax商品自2021年6月正式公布至今，总计销售量已经超过120腔，在Mini-LED表明外延片生产线设备行业处在全球领先，对于Micro-LED运用专用MOCVD机器设备正设计中。公司已积极布局用以电力电子器件运用的第三代半导体机器设备销售市场，上线了用以氮化镓电力电子器件制造的MOCVD机器设备PrismoPD5，目前已经交货世界各国领跑客户进行生产制造认证，也取得了反复订单信息。

   薄膜沉积设备产品研发获得阶段性进展，EPI机械设备设计进行：企业第一台CVD钨机器设备付运往重要存放手机客户端认证评定，在这以前CVD钨实验室环境已完成稳定性测试跟客户测认证，用于金属材料互连的CVD钨制造机器设备各类特性已可以满足用户工艺验证的需要。企业研发的用于优秀存储逻辑器件的ALD氮化钛机器设备也获得重大突破，多种指标值做到国际领先水平，关键客户的实验室测试赢得了优良结论，预估在2023年后半年寄往手机客户端开展批量生产认证。

   投资价值分析：公司为半导体行业中国行业龙头，充足得益于半导体材料产业化。根据企业长期投资及股权激励计划对盈利的危害，大家上涨企业财务预测，预估2023-2025年企业归母净利为17.27亿人民币/18.91亿人民币/23.17亿人民币（入账价值为14.00亿人民币/16.13亿人民币/19.89亿人民币），相对应的股票市盈率分别是48倍、44倍、36倍。公司为刻蚀设备和MOCVD双龙头，销售业绩有望持续高速增长，保持“强烈推荐”定级。

   风险防范：1）下游企业提产项目投资大跳水风险。若中下游芯片加工和LED芯片生产商的后续投资大跳水，对各种设备的采购要求变弱，这将影响企业的订单数量，从而对公司业绩造成不利影响。2）新产品开发大跳水风险性。若企业新产品开发大跳水，将影响企业持续发展。3）国际贸易摩擦风险性。近些年，国际贸易摩擦持续。假如中美贸易战持续恶变，企业的生产运作会受到一定影响。

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